華興集🝽🐤🁶團公司在氮化鎵器件上的技術(shù)一開(kāi)始是來(lái)源于西門(mén)康公司的技術(shù)專(zhuān)利,一開(kāi)始是做高功率的電氣設備的器件,后來(lái)設立在鷹醬和歐洲的研發(fā)中心得到了一大批的功率器件的研發(fā)人員和技術(shù)專(zhuān)利,將硅器件上的技術(shù)移植到了氮化鎵器件上面,所以很容易就推出了一大批的不同類(lèi)型的器件,開(kāi)始運用于很多領(lǐng)域。
對于消費者而言,除了氮化鎵🔎⛊電源體積更小之📠🜑🁜外,沒(méi)有任何上手和使用門(mén)檻。
華興集團公司通過(guò)多☦年的摸索已經(jīng)掌握了氮化鎵的晶體管結構制備工藝,特別是氮化鎵晶體管結🍳🌉構制備工藝比現有技術(shù)🛴☽的硅器件還要少很多工藝處理步奏,器件的制備成本反而還要低一些。
氮化鎵器件之成本最高的部分反而是在氮化鎵材料本身上面,之前主要是氮化鎵🕎的高質(zhì)量和大尺寸的籽晶培育出來(lái)需要兩🅧🃨年多的時(shí)間。
華興集團公司也是組織了技術(shù)團隊實(shí)驗新的技術(shù)方案,也是在中科院之前在研制超導體材料時(shí)用到的頂部籽晶熔融織構🛴☽的方☮🂳💷法中得到了靈感,采🗸☴取了一種助熔劑法開(kāi)始制備氮化鎵籽晶和晶體的生產(chǎn)辦法,通過(guò)了幾百次的實(shí)驗,絕大部分都是失敗了,最后還是終于成功地培育出了高質(zhì)量大尺寸的氮化鎵籽晶,并且將籽晶的培育時(shí)間縮短到了只有一個(gè)多月的時(shí)間。
萬(wàn)子豪這次過(guò)來(lái)也♱🌋♊是跟著(zhù)楊🄻🂭💅杰對氮化鎵材料研發(fā)中心的氮化鎵單晶生產(chǎn)工廠(chǎng)進(jìn)行了參觀(guān)。
當他看到好幾座巨大的🕔籽晶生長(cháng)爐后也是非💥📿常感興趣,😒🀴詢(xún)問(wèn)起這些生長(cháng)爐的一些情況。
“之前我們在實(shí)驗的時(shí)候發(fā)現氣液界⚪🔍⛁面處氮源首先達到過(guò)飽和,形成氮化鎵多晶殼層,導致外部氮氣在氣液界面處被阻斷,導致生長(cháng)體系氮源供給中斷,進(jìn)而使生長(cháng)體系中的氮化鎵籽晶停止液相外延生長(cháng),另一方面另一方面消耗體系中金屬鎵源,我們想了很多辦法,最后發(fā)現添加氮化碳作為添加劑材料后可以有效地抑制這種情況?!?br/>
陪同在一旁的佟建偉一臉自豪🔎⛊地說(shuō)道,他是最早加入華興集團公司的,現在已經(jīng)成為了氮化鎵材料研發(fā)中心的院長(cháng)。
“這套生長(cháng)爐是你們華🕔興集團公司自己設計的?”
萬(wàn)子豪問(wèn)道。
“我們也是跟金山市☦中科院的硅酸鹽研究院一起合作開(kāi)發(fā)了這些設備,不過(guò)我們也是🞬在這些設備上做了很多創(chuàng )新?!?#128567;🆄🍅
佟建偉笑著(zhù)說(shuō)道:“這么一套生長(cháng)爐一次性可以生長(cháng)30根直徑在2🍯🛋5毫米的籽晶棒,可以拉制出1🃧20公斤的單晶棒,我們還在研發(fā)更大直徑的籽🕢晶棒,下一步拉制出150公斤以上的單晶棒?!?br/>
萬(wàn)子豪隨后也是🏦🜕在成品工作間看到了已經(jīng)通過(guò)檢測的籽😒🀴晶棒,技術(shù)人員此時(shí)正在進(jìn)行打包。
萬(wàn)子豪看著(zhù)這些半透明的圓錐形的氮化鎵的籽晶棒眼中也是露出喜色🍯🛋,“有了這些高質(zhì)量的籽晶🍳🌉棒,華興集團公司可以大批量生產(chǎn)氮化鎵材料,這對我們國內的半導體產(chǎn)業(yè)都是一個(gè)絕好的消息🙥🌟🀚呀!”
現在華興集團公司也是建立了上百套的氮化鎵單晶生長(cháng)爐,其中最大尺寸的單晶生長(cháng)爐就建設了四十多套,再加上數量不少的30公斤、60公🗸☴斤、90公斤級別總共是六十多套的生長(cháng)爐,現在一年華興集團公司可以提供兩百多噸的材料,而且生產(chǎn)的都是純度達到九個(gè)九的電子級的高純度單晶硅。
萬(wàn)子豪也知道金山市中科院硅酸鹽研究院方面也🙶🎷🕬是建設了一條生產(chǎn)線(xiàn),產(chǎn)量更大,不過(guò)生產(chǎn)的是四個(gè)九純度的光伏單晶氮化鎵硅晶片。